電子特氣管道系統(tǒng)，簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲”是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送”指配管方面（一般用雙套管），“分配”指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制”指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應用于半導體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。

特種氣體系統(tǒng)的GC特氣柜/GR特氣架的設置須符合下列規(guī)定:

1. 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內置吹掃氣源等多種結構配置；

2. 不相容氣體瓶不應放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

3. 氣瓶柜、氣瓶架應設置作業(yè)用氣體面板；

4. 系統(tǒng)的供應能力應經過熱力學和流體力學計算核實；

5. 氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓，柜內的排風換氣次數(shù)不得低于300次/h；

6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置固定式氣體泄漏探測器；

7. 氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應小于2.5mm， 并應有防腐蝕涂層；

8. 氣瓶柜門應具備自動關閉功能， 并應配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜的固定螺栓設計應滿足當?shù)氐卣鹪O防烈度的要求；

9. 氣瓶柜、氣瓶架應設置清晰明確的安全標識牌；

10. 當氣瓶柜放置在有爆炸和火災危險環(huán)境時，其設計應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。

電子特氣管道工程是一種危險性很高的工程，是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應系統(tǒng)，所以，為了用氣安全，在安裝特氣系統(tǒng)時，要嚴格遵守其中的一些規(guī)定標準。

以上，便是關于特氣系統(tǒng)中特氣柜和特氣架該如何設置的介紹，感謝您的閱讀！