VMP：閥組盤(pán)
特種氣體在輸送過(guò)程中使用的開(kāi)放式管道分配裝置，用于向一個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體，同時(shí)供應(yīng)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，根據(jù)氣體種類(lèi)進(jìn)行分類(lèi)，將工藝氣體純化、過(guò)濾、減壓，達(dá)到客戶(hù)需求